速度 標(biāo)記速度(1)3000mm/s 定位速度(1)5000mm/s 寫入速度(2)280cps 階躍響應(yīng)時(shí)間(全行程1%)≤0.1ms 階躍響應(yīng)時(shí)間(全行程10%)≤0.4ms 跟蹤誤差≤200us精度及誤差 線性度≥99.9%重復(fù)定位精度<8μRad/℃增益誤差<5mRad零點(diǎn)偏移(批
| 速度 | |||
| 標(biāo)記速度(1) | 3000mm/s | ||
| 定位速度(1) | 5000mm/s | ||
| 寫入速度(2) | 280cps | ||
| 階躍響應(yīng)時(shí)間(全行程1%) | ≤0.1ms | ||
| 階躍響應(yīng)時(shí)間(全行程10%) | ≤0.4ms | ||
| 跟蹤誤差 | ≤200us | ||
| 精度及誤差 | |||
| 線性度 | ≥99.9% | ||
| 重復(fù)定位精度 | <8μRad/℃ | ||
| 增益誤差 | <5mRad | ||
| 零點(diǎn)偏移(批量原點(diǎn)誤差) | <5mRad/℃ | ||
| 長(zhǎng)時(shí)間漂移(連續(xù)工作8小時(shí)) | <0.8mRad | ||
| 比例漂移 | <75PPM/℃ | ||
| 零點(diǎn)漂移 | <20μRad/℃ | ||
| 鏡片損傷閾值 | |||
| Si基體 | 10J/cm2 | ||
| 鏡片反射波長(zhǎng)(3) | 10600nm / 1064nm / 355nm | ||
| 電源及信號(hào) | |||
| 輸入電壓 | ±15VDC | ||
| 最大平均工作電流 | <1.5A | ||
| 信號(hào)接口 | 數(shù)字 | XY2-100 | |
| 模擬 | ±5V | ||
| 峰值電流 | 18A | ||
| 位置信號(hào)輸入抗阻 | 10KΩ±1% | ||
| 機(jī)械掃描角度 | ±11.5° | ||
| 工作電流、溫度、尺寸 | |||
| 工作溫度 | 25±20℃ | ||
| 儲(chǔ)存溫度 | -10℃--60℃ | ||
| 激光輸入孔徑 | 10-12mm | ||
| 振鏡尺寸(長(zhǎng)*寬*高) | 122*96.5*101.0mm | ||
| 振鏡重量 | ≈1.8kg | ||